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Park Systems原子力显微镜 XE-7

简要描述:

Park Systems原子力显微镜 XE-7,的纳米领域研究利器。*的三轴分离设计,既保证了XYZ三个方向无耦合效应,从原理上消除了平面扭曲误差;同时独立的Z轴扫描器,实现了真正的非接触式扫描,极大地扩展了样品适用范围。自上而下的直视光路,方便用户对探针和样品的观察,专门设计的探针安装方式,简化了光路调整过程,降低了操作难度。

更新时间:2016-09-18

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Park Systems原子力显微镜 XE-7

仪器简介:

    的纳米领域研究利器。*的三轴分离设计,既保证了XYZ三个方向无耦合效应,从原理上消除了平面扭曲误差;同时独立的Z轴扫描器,实现了真正的非接触式扫描,极大地扩展了样品适用范围。自上而下的直视光路,方便用户对探针和样品的观察,专门设计的探针安装方式,简化了光路调整过程,降低了操作难度。

 

Park Systems原子力显微镜 XE-7技术参数:

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围10μm*10μm(可选50μm*50μm ,100μm*100μm)

平面偏移度:<2nm(40μm*40μm扫描)

 

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围12μm(可选25μm)

共振频率:>5kHz

表面成像噪声:0.03nm

 

样品台

样品尺寸: 100mm*100mm*20mm

样品重量:zui大500g

样品台移动范围:13mm*13mm

 

主要特点:

一、精确的XY方向扫描,*消除了交叉耦合误差

●使用独立的闭环XY平板式扫描器和Z轴扫描器

●平板式的扫描扫描器,残留弯曲误差极小

●整个扫描范围内的水平线性误差小于2nm

●精确的高度测量

 

二、Non-Contact™(真正非接触) 模式能够延长针尖寿命,提供高分辨率及保护样品

●Z伺服速度是压电陶瓷管的10倍

●非接触模式可降低针尖磨损、延长使用寿命

●成像分辨率优于同类原子显微镜

●增强样品兼容性,提高扫描精度

 

三、zui丰富的功能拓展

●支持多种SPM模式

●支持多种选配测量模式

●支持各种可选配件,扩展性能优越

 

四、zui为便利的使用设计

●开放式样品空间,提高样品及针尖更换效率

●预对准针尖安装和同轴直视光路直观地实现激光对准

●燕尾锁方便扫描头拆卸


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