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Park Systems原子力显微镜 XE-15

简要描述:

Park Systems原子力显微镜 XE-15, 具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计,为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器,消除了弯曲效应误差,提供了的线性度。真正的非接触扫描模式,扩大了适合样品种类,同时极大地延长了探针寿命,降低了使用成本。

更新时间:2016-09-18

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Park Systems原子力显微镜 XE-15

仪器简介:

    Park XE-15具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计,为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器,消除了弯曲效应误差,提供了的线性度。真正的非接触扫描模式,扩大了适合样品种类,同时极大地延长了探针寿命,降低了使用成本。

 

Park Systems原子力显微镜 XE-15技术参数:

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)

平面偏移度:<2nm(40μm*40μm扫描)

 

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围12μm(可选25μm)

共振频率:>5kHz

表面成像噪声:0.03nm

 

样品台

样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)

样品尺寸: 150mm*150mm*20mm

样品重量:zui大500g

样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)

 

主要特点:

 

一、创新的多位点样品台设计,提供工作效率

●一次操作zui多可以扫描16个样品

●样品安放简单,扫描迅速

●极大提高了数据的精确性和重复性

 

二、支持超大样品,满足业界发展需要

●zui大支持200 mm晶圆,满足用户目前和今后的需要

●满足半导体相关用户实际需要的专门设计

 

三、丰富的功能模式选择

●完善支持各种SPM功能

●支持多种选配测量模式

●支持各种可选配件,扩展性能优越


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